在真空系統(tǒng)中，真空設(shè)備被密封并長(zhǎng)時(shí)間保持在真空狀態(tài)，用于將設(shè)備夾層與空氣循環(huán)隔離的元件被稱為真空閥，其在被切斷后處于真空狀態(tài)。真空閥的應(yīng)用場(chǎng)景很多，有些需要常閉。大多數(shù)現(xiàn)有的真空閥都用螺釘擰緊，以密封真空閥的內(nèi)部。如果長(zhǎng)時(shí)間放置，它們會(huì)變松并導(dǎo)致漏氣。而且現(xiàn)有真空閥密封效果不好，內(nèi)部有很多縫隙，造成氣體滲透，影響真空效果。

為克服現(xiàn)有技術(shù)不足，技術(shù)人員提供一種密封性更好的真空閥。它通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)：一種真空閥，包括閥體，閥體內(nèi)設(shè)有通風(fēng)通道，閥體包括左腔和右腔，左腔設(shè)有進(jìn)氣口，右腔設(shè)有出氣口，進(jìn)氣口和出氣口在閥體的軸向方向上交錯(cuò)排列。左腔和右腔通過(guò)密封閥口連接，密封閥口兩端設(shè)有從密封閥口中部向兩端延伸的梯度，左腔和右腔均設(shè)有與梯度相匹配的臺(tái)階，密封閥口通過(guò)焊接與左腔和右腔固定。通風(fēng)通道內(nèi)設(shè)有導(dǎo)桿，導(dǎo)桿一端設(shè)有密封件，密封件與密封閥口配合，密封件配合端面設(shè)有環(huán)形槽，密封閥口邊緣設(shè)有與環(huán)形槽配合的倒角，導(dǎo)桿遠(yuǎn)離密封件的一端螺紋連接有導(dǎo)向螺母。

其中，上述導(dǎo)向螺母的外周和閥體的外周均設(shè)有外螺紋，并與鎖緊螺母螺紋連接，鎖緊螺母為階梯螺母，同時(shí)與導(dǎo)向螺母的外周和閥體的外周螺紋連接；進(jìn)氣口通過(guò)進(jìn)氣噴嘴與進(jìn)氣法蘭連接，出氣口通過(guò)出氣噴嘴與出氣法蘭連接。密封件通過(guò)螺栓與導(dǎo)桿連接。密封座設(shè)置在位于導(dǎo)桿上的密封元件的一側(cè)。導(dǎo)向螺母和鎖緊螺母之間設(shè)有止推軸承。閥體上還設(shè)有通向通風(fēng)通道的表接口，表接口與進(jìn)氣口連通，表接口與自密封表管座連接，自密封表管座上安裝有檢測(cè)表管。鎖緊螺母與閥體的螺紋配合處設(shè)有緊固螺釘。鎖緊螺母遠(yuǎn)離閥體配合端設(shè)有保護(hù)帽，保護(hù)帽與鎖緊螺母接觸端之間設(shè)有墊圈。進(jìn)氣法蘭和出氣法蘭的密封端面設(shè)有環(huán)形槽，環(huán)形槽內(nèi)設(shè)有氟橡膠密封圈，進(jìn)氣法蘭和出氣法蘭的密封端面設(shè)有盲板。

該新型真空閥的優(yōu)點(diǎn)是：由于優(yōu)化了構(gòu)造，使密封件最終壓在密封閥口上進(jìn)行密封；同時(shí)，密封件的配合端面設(shè)有環(huán)形槽，密封閥口邊緣設(shè)有倒角，倒角與環(huán)形槽的配合可以實(shí)現(xiàn)線與面之間的密封關(guān)系，提高密封效果；此外，該裝置導(dǎo)桿的周向側(cè)設(shè)有波紋桿作為密封，端部設(shè)有密封圈進(jìn)一步密封，從而進(jìn)一步提高了密封效果，能更有效地防止氣體滲透。